Multivrstvy Ba0.75Sr0.25TiO3/SrTiO3 byly připraveny plazmovou laserovou depozicí na platinou pokrytý křemíkový substrát. Tloušťka vrstev byla cca 300 nm a byly tvořeny 20 dvouvrstvami tloušťky 8 nm.
Mikrostruktura vzorků byla studována rtg difrakcí, alfa stepem byla určena tloušťka a drsnost povrchu.