Nanostrukturované fluorouhlíkové plazmové polymery

Abstrakt

Byl studován depoziční proces vrstev fluorouhlíkových plazmových polymerů s důtazem na jejich nanostrukturu.

Klíčová slova

• magnetronové rozprašování
• plazmové polymery
• PTFE
• superhydrofobní povrch
• tenké vrstvy