Vrstvy stříbrných a hliníkových nanoklastrů připravených pomocí jednoduchého plynového agregačního zdroje

Abstrakt

Byl zkonstruován nanoklastrový zdroj založený na planárním magnetronu. Tento zdroj byl použit pro přípravu vrstev stříbrných a hliníkových klastrů, které byly následně charakterizovány.

Bylo určeno i zastoupení neutrálních, kladně a záporně nabitých klastrů.

Klíčová slova

• stříbro
• hliník
• nanoklastry