Různé mechanismy plastické deformace se projevují nejen odlišnými mechanickými vlastnostmi, ale i odlišnou deformační strukturou. Využití metody světelné mikroskopie ke studiu povrchu plasticky deformovaných vzorků není možné v materiálech s velikostí zrna v submikronové oblasti.
V těćhto případech je vhodnou metodou metoda atomových sil (AFM). V článku jsou ukázány výsledky měření AFM na velmi jemnozrnných slitinách na bázi Al, které byly plasticky deformovány za různých podmínek.