Charles Explorer logo
🇨🇿

METODY POVRCHOVÉ A TENKOVRSTVOVÉ ANALÝZY PRVKOVÉHO SLOŽENÍ (XPS, AES, SIMS), DIFRAKCE FOTOELEKTRONŮ

Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |
2011

Abstrakt

Analýza chemického složení patří k základním úkolům materiálové analýzy v mnoha oblastech špičkových technologií. Chemické složení materiálů může být studováno celou řadou metod, z nichž k nejvýznamnějším a nejpoužívanějším patří elektronové spektroskopie a to zejména rentgenová fotoelektronová spektroskopie (XPS - X-ray Photoelectron Spectroscopy) a Augerova elektronová spektroskopie (AES - Auger Electron Spectroscopy).

Obě metody jsou v dnešní době běžnou součástí výzkumných i aplikovaných laboratoří případně slouží jako diagnostické metody ve výrobních procesech.