Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |
2021
Abstrakt
Epitaxní metody umožňují růst krystalických vrstev na monokrystalických podložkách (substrátech). Používají se především v polovodičovém výzkumu a při výrobě moderních heterostrukturních polovodičových součástek.
V tomto přehledu se seznámíme se základními metodami a principy epitaxe.