Možnosti práškové rt difrakce pro charakterizaci nanokrystalických prášků a tenkých vrstev jsou krátce diskutovány. Metoda byla užita ke studiu krystalizace a teplotní stability TiO2.
Při extrémním rozšíření difrakčních píků je klasická analýza obtížná a musí být nahrazena aproximací celého difrakčního záznamu najednou (total pattern fitting). Byl vyvinut nový software MStruct a aplikován při analýze TiO2.
Model zahrnuje instrumentální aberace pro použité různé difrakční geometrie (e.g. absorbce, lom) a hlavní fyzikáln í modely reálné mikrostruktury jako distribuce malých krystalitů, dsitribuce dislokací a jejich korelace, fenomenologické mikronapětí, vrstevné chyby, zbytková napětí a textury. Odpovídající aprametry mohou být zpřesněny optimalizačním algoritmem.
Aplikace metody je demonstrována na analýze distribuce krystalitů v nanokrystalickém prášku anatasu a analýze zbytkových tahových napětí v krystalizovaných vrstvách o různých tloušťkách.