Zbytkové napětí a elastická anizotropie v nanokompozitech Ti-Al-(Si-)N a Cr-Al-(Si-)N nanokompozitech deponovaných katodovým obloukovým vypařováním
2008
Abstrakt
Elastická anizotropie nanokompozitních vrstev Cr-Al-(Si-)N and Ti-Al-(Si-)N s různým obsahem Al a Si byla studována komplementárním rtg metodami. Metoda malého úhlu dopadu (GAXRD) byla použita k získání první informace o anizotropii elastických konstant.
Měření na rtg difraktometru s Eulerovou kolébkou bylo použito pro výpočet mřížových deformací a zbytkových napětí pomocí metody skupin krystalitů. Ve většině vzorků klesal stupeň elastické anizotropie s obsahem Al a Si.