Primární standart vakua pro obor UHV - dosavadní zkušenosti a současné problémy

Abstrakt

Přehled principů absolutních manometrů a aparatur pro nastavení definovaného tlaku plynu v rozsahu UHV termodynamickým procesem, takže by jich bYlo možno využít k primární kalibraci vakuometrů

Klíčová slova

• Primary
• vacuum
• standard
• range
• standing
• experience
• present
• problems