Strukturované nanokompozitní tenké vrstvy nanesené směrovým magnetronovým naprašováním pod úhlem

Abstrakt

Nanostrukturované tenké vrstvy Mo a Ti byly nanášeny magnetronovým naprašováním v uspořádání GLAD. Je ukázána možnost nanášení strukturovaných nanokompozitních vrstev Ti/CH plazmový polymer.

Klíčová slova

• Nanocomposite
• structured
• films
• magnetron
• sputtering
• glancing
• angle
• deposition