Diagnostika in situ vf magnetronového naprašování nylonu

Abstrakt

Vf magnetronové naprašování nylonu v argonu, dusíku a jejích směsích bylo diagnostikováno hmotovým spektrometrem a optickou emisní spektroskopií. Byly detekovány různé druhy fragmentů obsahující uhlík a jejich hustota a byla nalezena korelace s depoziční rychlostí a chemickým složenímvrstev.

Klíčová slova

• diagnostics
• magnetron
• sputtering
• nylon