Systém UHV plazmové trysky pro depozici magnetických nitridových nanokompozitních tenkých vrstev s GHz aplikacemi

Abstrakt

Systém UHV plazmové trysky pro depozici magnetických nitridových nanokompozitních tenkých vrstev s GHz aplikacemi

Klíčová slova

• plasma
• system
• deposition
• magnetic
• nitride
• nanocomposite
• films
• applications
• 062008