Studium elektronegativního výboje ve směsi Ar/O2 pomocí Langmuirovy sondy

Abstrakt

Studium elektronegativního výboje ve směsi Ar/O2 pomocí Langmuirovy sondy

Klíčová slova

• Study
• Electronegative
• Ar/O2
• Discharge
• Means
• Langmuir
• Probe