Nanášení tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvojité RF katody plasmového tryskového systému

Abstrakt

Nanášení tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvojité RF katody plasmového tryskového systému

Klíčová slova

• Deposition
• BaxSr1-xTiO3
• films
• double
• hollow
• cathode
• plasma
• system