Depozice tenkých vrstev TiOx surfatronem | Charles Explorer

Depozice tenkých vrstev TiOx surfatronem

Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |

2007

Abstrakt

Depozice tenkých vrstev TiOx surfatronem

Klíčová slova

Deposition films surfatron generated plasma

Osoby