Příprava epitaxních vrstev Al2O3/NiAl(110): depozice hliníku

Abstrakt

Příprava epitaxních vrstev Al2O3/NiAl(110): depozice hliníku

Klíčová slova

• Formation
• epitaxial
• Al2O3/NiAl
• films
• aluminium
• deposition