Charakterizace vrstev DLC pomocí fotoelektronové spektroskopie a hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů

Abstrakt

Charakterizace vrstev DLC pomocí fotoelektronové spektroskopie a hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů

Klíčová slova

• Photoelectron
• spectroscopy
• secondary
• spectrometry
• characterization
• diamond-like
• carbon
• films