Studium interakce plazma-pevná látka v elektronegativních směsích: vliv geometrie substrátu

Abstrakt

Studium interakce plazma-pevná látka v elektronegativních směsích: vliv geometrie substrátu GAUK 220/2006

Klíčová slova

• Study
• Plasma-Solid
• Interaction
• Electronegative
• Mixtures
• Influence
• Substrate
• Geometry
• 00145