Studium interdifuse v multivrstvách Si/SiGe s vysokým obsahem Ge rtg rozptylem in-situ

Abstrakt

Studium interdifuse v multivrstvách Si/SiGe s vysokým obsahem Ge rtg rozptylem in-situ

Klíčová slova

• investigations
• interdiffusion
• Ge-rich
• Si/SiGe
• multilayers
• using
• x-ray
• scattering