Kompozitní SiOx/hydrokarbonová polymerní vrstva připravená pomocí RF magnetronového naprašování SiO2 a polyimidu | Charles Explorer

Kompozitní SiOx/hydrokarbonová polymerní vrstva připravená pomocí RF magnetronového naprašování SiO2 a polyimidu

Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |

2007

Abstrakt

Kompozitní SiOx/hydrokarbonová polymerní vrstva připravená pomocí RF magnetronového naprašování SiO2 a polyimidu

Klíčová slova

Composite SiOx/hydrocarbon plasma polymer films prepared magnetron sputtering polyimide

Osoby