Rtg difuzní rozptyl v gradovaných SiGe/Si(001) vrstvách

Abstrakt

Rtg difuzní rozptyl v gradovaných SiGe/Si(001) vrstvách

Klíčová slova

• Diffuse
• X-ray
• scattering
• graded
• SiGe/Si
• layers
• using
• Tersoff
• model