Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 dvojicí plazmatických trysek

Abstrakt

Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 dvojicí plazmatických trysek

Klíčová slova

• Measurements
• plasma
• parameters
• during
• BaXSr1-xTiO3
• films
• deposition
• double
• hollow
• cathode
• plasma
• system