Srovnání různě organokřemíkových filmů připravených megnetronovým naprašováním a plasmovou polymerací

Abstrakt

Srovnání různě organokřemíkových filmů připravených megnetronovým naprašováním a plasmovou polymerací

Klíčová slova

• comparison
• polyatomic
• deposited
• magnetron
• sputtered
• plasma
• polymer
• organosilicon
• films