Měrení parametrů plazmatu v radiofrekvenčním pochodňovém výboji použitém pro depozici kysličníkových tenkých vrstev

Abstrakt

Měrení parametrů plazmatu v radiofrekvenčním pochodňovém výboji použitém pro depozici kysličníkových tenkých vrstev

Klíčová slova

• Measurements
• Plasma
• Parameters
• Torch
• Discharge
• Deposition
• Oxide
• Films