Počítačové studium procesů ve stínících vrstvách obklopujících podložky různých

Abstrakt

Počítačové studium procesů ve stínících vrstvách obklopujících podložky různých geometrií

Klíčová slova

• Computational
• Study
• Processes
• Plasma
• Sheaths
• Surrounding
• Substrates
• Various
• Geometries