Nanokompozotní Ti/uhlovodíkové plazmové polymerní filmy z magnetronového naprašování

Abstrakt

Nanokompozotní Ti/uhlovodíkové plazmové polymerní filmy z magnetronového naprašování

Klíčová slova

• Nanocomposite
• Ti/hydrocarbon
• plasma
• polymer
• films
• reactive
• magnetron
• sputtering