Studium růstu magnetronově naprašovaných nanokrystalických tenkých vrstev TiO2 pomocí rtg difrakce

Abstrakt

Studium růstu magnetronově naprašovaných nanokrystalických tenkých vrstev TiO2 pomocí rtg difrakce

Klíčová slova

• Growth
• nanocrystalline
• magnetron
• sputtered
• films
• studied
• X-ray
• scattering