Rtg difuzní rozptyl na kyslíkových defektech v Czochralského křemíku

Abstrakt

Rtg difuzní rozptyl na kyslíkových defektech v Czochralského křemíku

Klíčová slova

• X-ray
• diffuse
• scattering
• oxygen-based
• defects
• Czochralski
• silicon