Rtg difrakční studium krystalizace magnetronově naprašovaných vrstev TiO2

Abstrakt

Rtg difrakční studium krystalizace magnetronově naprašovaných vrstev TiO2

Klíčová slova

• Study
• crystallization
• magnetron
• sputtered
• films
• studied
• X-ray
• scattering