Extrémní plastická deformace jako prostředek k výrobě ultra jemnozrnných malých MEMS částí

Abstrakt

Extrémní plastická deformace jako prostředek k výrobě ultra jemnozrnných malých MEMS částí

Klíčová slova

• Severe
• plastic
• deformation
• means
• producing
• ultrafine
• grained
• net-shaped
• parts