Kompozitní SiOx plazmové polymerní filmy připravené magnetronovým naprašováním SiO2 a PTFE

Abstrakt

Kompozitní SiOx plazmové polymerní filmy připravené magnetronovým naprašováním SiO2 a PTFE

Klíčová slova

• Composite
• SiOx/fluorocarbon
• plasma
• polymer
• films
• prepared
• magnetron
• sputtering
• PTFE