Zrcadlová spektroskopická elipsometrie pro monitorování kritického rozměru mřížek vytvořených na tlusté transparentní desce

Abstrakt

Zrcadlová spektroskopická elipsometrie pro monitorování kritického rozměru mřížek vytvořených na tlusté transparentní desce

Klíčová slova

• Specular
• spectroscopic
• ellipsometry
• critical
• dimension
• monitoring
• gratings
• fabricated
• thick
• transparent
• plate
• Article
• 053107