Studium interakce plazma-pevná látka ve směsích elektronegativních plynů při nízkých a středních tlacích

Abstrakt

Studium interakce plazma-pevná látka ve směsích elektronegativních plynů při nízkých a středních tlacích

Klíčová slova

• Study
• Plasma-Solid
• Interaction
• Electronegative
• Mixtures
• Medium
• Pressures
• 128