Tenké vrstvy nitridu uranu a iontové míchání studované pomocí metody RBS

Abstrakt

Tloušťka, složení, koncentrační profily a vliv iradiace ionty bylo studovány pomocí metody RBS na filmech UN nanesených na křemenné sklo. Ostré rozhraní se substrátem bylo zjištěno u filmu nenseného při teplotě -200 C.

Klíčová slova

• Tenké vrstvy
• nitrid uranu
• iontové míchání
• metoda RBS