Metoda vyhodnocení celého difrakčního záznamu najednou aplikovaná na studium mikrostruktury vrstev TiO2
Abstrakt
Nový software MSTRUCT pro vyhodnocení celého rtg záznamu najednou byl použit pro studium mikrostruktury magnetronově naprášených vrstev TiO2. Je to rozšíření programu FOX pro řešení struktur z práškových dat.
MSTRUCT zahrnuje nově korecki na lom, absorpci, zbytková napětí a přednostní orientaci, které jsou nezbytné při užití geometrie paralelního svazku a asymetrického detektorového skenu při malých úhlech dopadu. Program zároveň zarhnuje popis rozšíření vlivem log-normální distribuce velikosti krystalitů, dva modely deformačního rozšíření (fenomenologický, dislokační) a vliv vrstevných chyb v kubických a hexagonálních materiálech.
Výsledky ukázaly, že během krystalizace amorfních vrstev TiO2 dochází ke vzniku zbytkových tahových napětí způsobujících anizotropní posuv difrakčních píků. Zahrnutí vlivu napětí váženým Reussovým-Voigtovým modelem výrazně zlepšilo shodu vypočtených a experimentálních hodnot.